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Para todas as necessidades de informações do produto para os dispositivos de medição sem fio WaferSense® e ReticleSense® e o In-Line Particle Sensor?, inclusive software, manuais e guias para download. [Sem texto no campo]
Precis?o ¨C Versatilidade
Quando voc¨º precisar dos dispositivos de medi??o mais eficientes e eficazes para processos de configura??o e manuten??o da ferramenta de semicondutores, conte com a Nordson TEST & INSPECTION, a l¨ªder de mercado global em dispositivos da medi??o de semicondutores sem fio para gera??o de espa?os de c?mara, nivelamento, orienta??o para distribui??o de ¨¢gua, vibra??o, part¨ªculas suspensas no ar, umidade relativa e medi??o da resist¨ºncia.
As f¨¢bricas de semicondutor e os OEMs valorizam a precis?o e a versatilidade do portf¨®lio de medi??es do WaferSense e do ReticleSense para possibilitar melhorias nos resultados da fabrica??o e no tempo de atividade do equipamento.
Melhore os resultados
Economize tempo. Poupe. Aumente a produtividade.
WaferSense? Auto Gapping System? (AGS)
- Consiga rapidamente a lacuna da qual voc¨º precisa usando as leituras de c?mara na press?o do processo em formas num¨¦rica e gr¨¢fica, com o software CyberSpectrum? f¨¢cil de usar.
- Consiga a uniformidade, independentemente de precisar ajustar uma folga perfeitamente em paralelo ou levemente inclinada. Aumente a uniformidade do processo entre ferramentas com ajustes de lacuna objetivos e repet¨ªveis.
- Tranquilize-se tirando a vari¨¢vel humana do ajuste do equipamento.
- Fa?a os ajustes certos periodicamente.
WaferSense? Auto Teaching System? (ATS2)
- Auto Teaching System? (ATS2) Melhore os resultados e diminua a contamina??o por part¨ªculas com uma calibra??o de entrega de wafer precisa.
- Registre dados de deslocamento tendo em vista a calibra??o precisa das posi??es de transfer¨ºncia ¨¤ medida que o ATS2 semelhante a wafer percorre o equipamento semicondutor.
- Melhore o resultado do processo de fabrica??o com equipamento devidamente calibrado. Consiga configura??es de equipamento semicondutor repet¨ªveis e reproduz¨ªveis.
- Elimine varia??es de t¨¦cnico para t¨¦cnico com a calibragem ATS2 que possibilita verifica??es de configura??o e manuten??o repet¨ªveis e reproduz¨ªveis.
WaferSense? Airborne Particle Sensor? (APS3)
- Mais fino. Mais leve. Precis?o. A ¨²ltima gera??o do APS melhora a configura??o do equipamento e os resultados monitorando sem fio as part¨ªculas suspensas no ar em tempo real.
- Monitora rapidamente, identifica e viabiliza a solu??o de problemas de part¨ªculas suspensas no ar at¨¦ 0,14 ¦Ìm dentro dos sistemas do equipamento do processo de semicondutores e de manuseio de materiais automatizado.
- Economize tempo localizando facilmente as fontes de contamina??o e vendo o efeito de limpezas, ajustes e reparos em tempo real. Diminua os ciclos de manuten??o do equipamento com um fator de forma semelhante a um wafer.
- As f¨¢bricas de semicondutores e OEMs em todo o mundo valorizam a precis?o e a versatilidade do WaferSense APS3 ¨C O dispositivo de medi??o sem fio mais eficiente e eficaz para part¨ªculas suspensas no ar.
Segurança. Dê um tempo.
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